Mikrospiegel

Einer der vier Mikrospiegel wird bei dieser Messung angesteuert. Durch Verschiebung der Phasenlage wird die Bewegung des Spiegels sichtbar. Zusätzlich erkennt man, dass die benachbarten Spiegel sich ebenfalls bewegen, obwohl diese nicht angesteuert wurden. Durch ZYGO's FDA High 2G können diese minimalsten Auslenkungen absolut dargestellt und gemessen werden.