OEM Optiken
Wafertische
In Verbindung mit unseren Längenmessinterferometern der Produktlinie ZMI™ bieten wir komplette OEM Wafertische zur Integration in Halbleiter- oder Präzisionsmessmaschinen mit höchster Auflösung an. In Zusammenarbeit mit dem Maschinenhersteller entwickeln wir für die geforderte Anwendung die beste technische Lösung. Kundenspezifische Interferometer kommen bei solchen Lösungen selbstverständlich zum Einsatz.
Optiken

Für hochpräzise Planoptiken sind wir weltweit bekannt und beliefern Industrie sowie auch Großforschungsprojekte wie LLNL (USA), CEA (F) oder AWE (UK) mit unseren Produkten. Für einige dieser Projekte haben wir Grossinterferometer gebaut, welche nur für diese Produktion und Qualitätssicherung eingesetzt werden.
Optikmodule
Seit Jahren fertigen wir auch kundenspezifische Optikmodule, deren Montage in Reinräumen erfolgt.