VeriFire™ Asphere
Schnelle und hochgenaue 3D Vemessung asphärischer Oberflächen

Der VeriFire™ Asphere ermöglicht die interferometrische Vermessung von rotationssymmetrischen Asphären gegen die zu Grunde liegende Asphärenformel in Produktionsumgebungen und zur Prozesskontrolle. Als Ergebnis erhält der Anwender einen hoch auflösenden 3D Datensatz, der die Abweichung von der Sollform darstellt.

Der patentierte Multi-Zonen Messprozess nutzt Standard Fizeau-Messobjektive und basiert auf ZYGO's Kern-Kompetenzen in interferometrischer Messtechnik: Fizeau- und Längenmessinterferometrie. Hologramme sind nicht erforderlich! Eine motorisierte 5-Achsen Steuerung erlaubt in Verbindung mit der MetroPro® Software einen automatisierten Messablauf, inklusive automatischer Justage der Messprobe!

VeriFire™ Asphere – Spezifikationen Download Datenblattt (PDF). • rms Reproduzierbarkeit: ≤ 3 nm • Reproduzierbarkeit Oberflächen-Map: ≤ 10 nm • Gesamtmesszeit: 6-10 minutes (typical) • messbarer Durchmesser: 1 mm - 130 mm • Abweichung von der Best-Fit Sphäre: ≤ R0 800 μm • Abweichung von Design-Asphäre: 10 μm

Das Messsystem wird als Workstation mit Schwingungsisolation angeboten, so dass es für die Asphärenmessung in Produktionsumgebungen geeignet ist. Als Interferometer-Grundgerät wird der VeriFire™ AT mit 1K x 1K Kamera eingesetzt. Damit wird eine ausreichend hohe Messpunktdichtet erreicht (ca. 700.000 Punkte) um auch Mid-spatial Frequency Informationen auswerten zu können.

Für die exakte Vermessung der Probenposition während des vertikalen Scanprozesses wird ein Zygo ZMI™ – Längenmessinterferometer mit 2,5 nm Auflösung verwendet. Auch alle Standard Messaufgaben für plane und sphärische Oberflächen, inklusive der hochpräzisen Radiusmessung können mit dem Gerät abgedeckt werden.

weiterführende Informationen . . .

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PDF	VeriFire™ Asphere Broschüre
PDF	VeriFire™ Asphere Spezifikationen
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