VeriFire™ MST

Der VeriFire™ MST erlaubt erstmals die Vermessung von planparallelen Mehrfach-Kavitäten (Oberflächen) ohne spezielle Probenpräparation. Mit nur zwei Messungen erhält man so von einer planparallelen Platte sämtliche Daten: Vorderseite, Rückseite, Homogenität sowie physikalische und optische Dickenvariation.

Standard-Interferometer erfassen die Wellenfrontvariation zwischen einer Referenz- und einer Messfläche (Einfach-Kavität mit zwei Oberflächen). Kommt eine weitere Fläche hinzu, wie bei planparallelen Oberflächen (drei Messkavitäten), werden weitere Interferenzmuster erzeugt, die eine Datenaufnahme mit mechanisch phasenschiebenden Interferometern unmöglich macht. Die Auswertung von solchen überlagerten Interferogrammen ist nun mittles Wellenlänge schiebenden Laserquellen und dem neu entwickelten Zygo-FTPSI Auswerteverfahren (Fourier Transform Phase Shifting Interferometry) möglich.

Der VerfiFire MST kann so für Applikationen genutzt werden, die zwei, drei oder sogar vier (planparallele Platte mit Referenzfläche) Messkavitäten beinhalten. Dabei unterdrückt das FTPSI Verfahren zusätzlich Artifakte, welche beim Standardverfahren die Messgenauigkeit negativ beeinflussen würden.

Drei-Flächen-Interferometrie

Planparallele Platten können nun auf Ebenheiten der Front- und Rückseite, sowie die optische Dicke der Platte gemessen werden. In einem Messvorgang erhält man die Oberfläche der Frontseite, die optische Dickenvariation sowie eine Annäherung der Rückseite basierend auf der Information der optischen Dicke.

Vier-Flächen-Interferometrie

Diese Technik ermöglicht nachfolgende Messungen in zwei Durchgängen und ohne riskantes Probenbeschichten.

• Front und Rückseiten Oberfläche
  
• Physikalische Dickenvariation (inklusive Keilwinkel)
  
• Optische Dickenvariation
  
• Variation des Refraktiven Index
  - Nichtlineare Homogenität
  - Lineare Homogenität (erster Ordnung)
  

Prospekte, Spezifikationen, Zubehör & Auswahlhilfe für Objektive

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PDF	VeriFire™ Produktlinie Prospekt   NEU !
PDF	VeriFire™ 1550 nm Interferometer Spezifikationen (110 k)
PDF	VeriFire™ 633 nm Interferometer Spezifikationen (110 k)
PDF	GPI™ & VeriFire™ Zubehör (724 k)
PDF	Transmission Sphere Selection Guide (304 k)
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