ZMI™ Reihe
Ultrapräzise Positionsmessung

ZYGO's ZMI™ Interferometersysteme (Displacement Measuring Interferometers, DMI) werden zur Nanometer-genauen Erfassung von Positionsänderungen eingesetzt. Vor allem für Multi-Messachsen Anwendungen können kostengünstige Lösungen angeboten werden, die extrem kleine Messunsicherheiten selbst bei hohen Verfahrgeschwindigkeiten (bis 4 m/s) gewährleisten. Neue Innovationen in den Bereichen Lasertechnik, Interferometer-Design und Auswerteelektronik sichern Zygo's Technologievorsprung auch in Zukunft ab!

ZYGO's NewView™ Produkte sind höchst zuverlässig und werden in einigen der anspruchsvollsten Anwendungen in der Halbleiter-Herstellung benutzt.

Um die Qualität der Laserköpfe zu gewährleisten stellt ZYGO eigene, hochqualitative Laserröhren her. Die Lebensdauer von ZYGO-Laserröhren liegt bei über 50.000 Stunden. ZMI™ Systeme sind Hererodyne -Interferometer, d.h. sie arbeiten mit Wellenlängen-Aufsplittung und Phasenauswertung. Die Vorteile dieses Verfahrens sind:

• Das hohe Signal/Rauschverhältnis verhindert das Zählen von Pulsen bei Stillstand.
• Eliminiert durch Falschmessung ausgelöste Vibrationen.
• Sehr robust für OEM- und End-User-Applikationen.
• Einfach auszurichten und unsensibel gegenüber Signalamplituden-Veränderugen.
• Sehr stabil.
• Ein einzelner Laser kann mehrere Achsen unterstützen.

Prospekte und Spezifikationen

Zum Herunterladen der ZMI™ Prospkete und Spezifikationen, klicken Sie auf den entsprechenden Link. Die Dokumente sind im pdf-Format.

PDF	ZMI™ 4004 Measurement Board Prospekt/Spezifikationen. (93 k)
PDF	A Primer on Displacement Measuring Interferometers (462 k)
PDF	Technical paper entitled "High-resolution, High-speed, Low Data Age Uncertainty, Heterodyne Displacement Measuring Interferometer Electronics". (149 k)
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