Halbleiter und MEMS
In vielen Halbleiter Prozessen und Anwendungen kommen unsere Messsysteme und unsere automatisierten Lösungen zum Einsatz.
ZMI™ Produktlinie
Photolithographie Stepper, Maskenschreiber und Messsysteme sind angewiesen auf Längenmessinterfereometer (Displacement Measuring Interferometer, DMI) zur präzisen Positionierung von Tischen sowie deren Positionsrückmeldungen. ZYGO, der Technologieführer im Bereich von heterodynen Displacement Interferometer, hat sich diesen Anforderungen gestellt und bietet mit der ZMI™ Produktlinie eine technisch anspruchsvolle Lösung an.
Die Darstellung zeigt ein ZMI™ System, welches simultan die Positionsrückmeldung vom Wafertisch sowie Maskentisch verfolgt.
Optiken für Präzisionstische
Hersteller von Wafersteppern vertrauen seit Jahren auf ZYGO’s Fertigung und Messmöglichkeiten von Präzisionsoptiken. Als Hersteller von weltweit einmaligen optischen Komponenten kann Zygo die gesamte Prozesskette von Schleifen, Beschichten und Montage in Reinräumen von Ihren Präzisionsoptiken übernehmen. Höchsten Anforderungen werden wir gerecht und liefern nach Ihren Spezifikationen.
NewView™ 7000 Produktlinie
Die optischen Profilometer NewView™ 7000 sind hervorragend für Halbleiter Anwendungen geeignet. Die berührungslose und sehr schnelle Messungen ermöglichen einen hohen Durchsatz sowie eine dreidimensionale Quantifizierung der Oberfläche. Messergebnisse wie Ebenheit, Rauheit, Form, Planparallelität, Volumen und Stufenhöhe werden schnell und automatisch berechnet.
Im Packaging Bereich können unter anderem Tiefen und Gleichförmigkeiten von Laser Ablationsmarken auf Wafern und IC gemessen werden. Außerdem sind Messungen von kritischen Oberflächenparameter von MEMS Devices sowohl im statischen als auch dynamischen Bereich einfach, schnell und präzise zu realisieren.